行業(yè)應用
太陽能電池板硅晶片邊緣蝕刻
等離子蝕刻機是專門設計用來蝕刻的，所用行業(yè)包括太陽能行業(yè)單晶硅、多晶硅、非晶硅帶太陽能電池片（cell）和硅片（wafer）的劃片（切割切片）：電子行業(yè)單晶晶硅硅片（wafer）的分離切割。
等離子刻蝕機應用在太陽能電池硅片邊緣隔離及背部表面氮化物或PSG（磷硅酸鹽玻璃）去除，微波等離子系統(tǒng)具有RF射頻刻蝕系統(tǒng)不可比擬的高刻蝕速率，另一方面直接微波等離子體技術使電池片溫度保持在很低的水平從而避免產生熱應力。
提供擴散后的硅片,對其進行一次等離子刻蝕,去除硅片四周的磷硅玻璃,隨后,將等離子刻蝕后的硅片按照常規(guī)流程進行濕法刻蝕.本發(fā)明提供的太陽能電池邊緣刻蝕方法,通過增加一次傳統(tǒng)的等離子刻蝕,去除擴散后的硅片周邊的磷硅玻璃,而使中間大部分的面積上保留磷硅玻璃的覆蓋,從而在后續(xù)的濕法刻蝕過程中保護擴散層不受氣相腐蝕,提高方塊電阻穩(wěn)定性;
同時利用硅片周邊的裸露硅本體的疏水性質防止刻蝕液浸潤硅片的上表面.兩次刻蝕后,電池片的并聯電阻和填充因子明顯提高,漏電流顯著降低.從而實現低成本,高穩(wěn)定性,高并聯電阻的濕法刻蝕.
